Sistema di imaging a contatto in trasmissione basato su una sorgente laser plasma a raggi X con rivelazione in fluorescenza, per applicazioni all analisi dello spessore e della composizione chimica di film sottili

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Data di Pubblicazione:
2006
Abstract:
Sistema di imaging a contatto in trasmissione basato su una sorgente laser plasma a raggi X con rivelazione in fluorescenza costituita da un cristallo di fluoruro di litio, per applicazioni allÂ’analisi dello spessore (decine di nanometri) e della composizione chimica di film sottili
Tipologia CRIS:
05.12 Altro
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/193729