Role of C and Ge in the electrical activation of In implanted in Silicon.
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Privitera, Vittorio; LA MAGNA, Antonino; Italia, Markus; Scalese, Silvia; Alippi, Paola
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Titolo del libro:
SILICON FRONT-END JUNCTION FORMATION-PHYSICS AND TECHNOLOGY