Dimethylaminosilanes plasmas for SiCN films deposition: FT-IR study of plasma and solid phase

Poster
Data di Pubblicazione:
2007
Tipologia CRIS:
04.03 Poster in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/88465