Growth and resistivity of Pt films obtained from Pt(acac)2 via MOCVD in the presence of water vapor

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/431226