Use of radio frequency power, silicon tetrafuoride and methane as parameters to tune structural properties of hydrogenated microcrystalline silicon carbon alloys
Articolo
Data di Pubblicazione:
2014
Abstract:
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Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
Crystallinity; Methane; RF power; Silicon carbon alloys; Silicon tetrafuoride
Elenco autori:
Ruggeri, Rosa
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