Aplicación del recocido con láser de CO2 en la fabricación de guías de onda planares nanoestructuradas basadas en SiO2-ZrO2 y SiO2-HfO2

Se elaboraron guías de onda planares de SiO2-ZrO2 y SiO2-HfO2 dopadas con concentraciones de iones Er+3 entre 0.5 y 5 mol% usando el método sol-gel para aplicaciones en dispositivos de óptica integrada. Las películas fueron depositadas sobre substratos de v-SiO2. Las propiedades químicas, ópticas y espectroscópicas fueron evaluadas mediante comparación entre dos tipos de recocido: Recocido convencional en horno y Recocido con Láser de CO2. Las guías procesadas utilizando recocido láser presentan incremento en el índice de refracción y menores coeficientes de atenuación respecto a las guías procesadas con un recocido convencional en horno. Para todas las muestras, fue observada una emisión a temperatura ambiente en la Banda C de telecomunicaciones bajo excitación a 514.5 y 980 nm.