Quasi-epitaxial growth of crystalline wurtzite AlN thin films on Si(100) by RF magnetron sputtering
Poster
Data di Pubblicazione:
2009
Tipologia CRIS:
04.03 Poster in Atti di convegno
Elenco autori:
Imperatori, Patrizia; Scavia, Guido; Caliendo, Cinzia
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Titolo del libro:
2009 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) and Short Courses