First realization and characterization of multilayer EUV reflective coatings

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2001
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/239266
Titolo del libro:
Soft X-Ray and EUV Imaging Systems II
Pubblicato in:
PROCEEDINGS OF SPIE
Series