Internal Gettering Efficiency in p/p+ and p/p- Silicon Epistructures

Abstract

Data di Pubblicazione:

2003

Tipologia CRIS:

04.02 Abstract in Atti di convegno

Keywords:

Si; gettering; annealing; EBIC

Elenco autori:

Frigeri, Cesare; Gombia, Enos

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/95395