Glow Dielectric Barrier Discharges for Deposition of Fluorocarbon Thin Films

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2006
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/53853
Titolo del libro:
18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases
Pubblicato in:
EUROPHYSICS CONFERENCE ABSTRACTS
Series