A novel organosilicon precursor for low temperature plasma deposition of silicon nitride-like thin films
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
D'Agostino, Riccardo; Fracassi, Francesco; Palumbo, Fabio
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