Effect of He Dilution on the Growth Kinetics of SiH4-H2 Plasmas: Structural Studies on mc-Si by Micro-Raman, X-ray diffraction and Spectroscopic Ellipsometry

Contributo in Atti di convegno

Data di Pubblicazione:

2005

Tipologia CRIS:

04.01 Contributo in Atti di convegno

Elenco autori:

Capezzuto, Pio; Losurdo, Maria; Bruno, Giovanni

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/53822