GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2003
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/53746