SU-8 based Processes for the Realization of RF MEMS Structures

Capitolo di libro
Data di Pubblicazione:
2010
Abstract:
The utilization of negative resisit SU-8 for manufacturing RF MEMS switches has been studied.
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Keywords:
RF MEMS; SU-8; Polymers
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/449539
Titolo del libro:
Microwave and Millimeter Wave MEMS

Dati Generali