Electron energy distribution functions and rate and transport coefficients of H2/H/CH4 reactive plasmas for diamond film deposition
Articolo
Data di Pubblicazione:
1996
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Capitelli, Mario; Colonna, Gianpiero
Link alla scheda completa:
Pubblicato in: