Particle modelling of parallel plate radio frequency discharge plasmas in hydrogen: influence of pressure

Articolo
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/429743
Pubblicato in:
JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS
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