Data di Pubblicazione:
2020
Abstract:
Subtracting technologies: Unconventional Nanolithography
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Keywords:
Nanofabrication patterning; Subtractive lithography; Unconventional lithography
Elenco autori:
Cavallini, Massimiliano; Gentili, Denis
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