Designing a large scale CVD reactor for GaAs growth on Ge substrates by multi-hierachy modling

Articolo
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/53506
Pubblicato in:
CRYSTAL RESEARCH AND TECHNOLOGY (1981)
Journal