Strain analysis in sub-micron silicon devices by TEM/CBED

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2001
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
ELECTRON-DIFFRACTION
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/210606
Titolo del libro:
MICROSCOPY OF SEMICONDUCTING MATERIALS 2001
Pubblicato in:
INSTITUTE OF PHYSICS CONFERENCE SERIES
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