Strain analysis of deep sub-micron CMOS devices by TEM/CBED in the < 230 > zone axis

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2001
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/210601
Titolo del libro:
PROCEEDINGS OF THE 5TH MULTINATIONAL CONGRESS ON ELECTRON MICROSCOPY