Strain in Silicon below Si3N4 Stripes, Comparison between SUPREM IV Calculation and TEM/CBED Measurements
Articolo
Data di Pubblicazione:
1997
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
EDGE-INDUCED STRESS
Elenco autori:
Armigliato, Aldo; Balboni, Roberto
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