Modulation of R.F. plasmas in the deposition of silicon based alloys: plasma diagnostics and material characterization

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1991
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/121951
Titolo del libro:
Proceedings of XX International Conference on Phenomena in Ionized Gases, (ICPIG-XX)