Metastable Phase of Ion Implanted Antimony in Silicon by Incoherent Light Annealing
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1984
Abstract:
-
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
Ion Implanted Antimony
Elenco autori:
Rizzoli, Rita
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Titolo del libro:
Energy pulse modification of semiconductors and related materials