Process for physical vapor deposition of a chalcogenide material layer and chamber for physical vapor deposition of a chalcogenide material layer of a phase change memory device
Brevetto
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
sputtering; chalcogenide; phase change memories
Elenco autori:
Cecchini, Raimondo
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