Synthesis and characterization of Co(Al(OSiMe3)4 and its application as CVD single-surce precursor
Poster
Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
04.03 Poster in Atti di convegno
Keywords:
metal oxide films; CVD
Elenco autori:
EL HABRA, Naida; Zanella, Pierino; Carta, Giovanni; Crociani, Laura; Rossetto, GILBERTO LUCIO
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