Synthesis and characterization of novel zirconium diaminodimethylsilane derivatives as potential CVD precursors for zirconium or zirconium/silicon nitrides

Poster
Data di Pubblicazione:
2003
Tipologia CRIS:
04.03 Poster in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/61791