Cavities at the Si projected range by high dose and energy Si ion implantation in Si

Articolo
Data di Pubblicazione:
2009
Abstract:
[object Object]
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
Cavity growth; PAS; Silicon; SIMS; TED; XTEM
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/307112
Pubblicato in:
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY
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