Glow discharge deposition of amorphous silicon films: Role of SiF4/SiH4 gas ratio and of plasma modulation

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1994
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/120856
Titolo del libro:
Commission of the European Communities 12th European Photovoltaic Solar Energy Conference Proceedings