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  1. Pubblicazioni

Multilayer coating mirrors development for EUV lithography

Abstract
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Nicolosi, Piergiorgio; Nannarone, Stefano; Frassetto, Fabio; Pelizzo, MARIA GUGLIELMINA; Giglia, Angelo
Autori di Ateneo:
FRASSETTO FABIO
GIGLIA ANGELO
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/204552
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