Al2O3 growth optimisation using aluminium dimethylisopropoxide as precursor as a function of reaction conditions and reacting gases
Articolo
Data di Pubblicazione:
2001
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Carta, Giovanni; Battiston, Giovanni; Gerbasi, Rosalba; Rossetto, GILBERTO LUCIO; Zanella, Pierino
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