Dependence of the transient enhanced diffusion, of B in Si, upon B concentration and ion implanted dose
Articolo
Data di Pubblicazione:
2002
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Privitera, Vittorio; Mancini, Lucia; Mannino, Giovanni; Milita, Silvia; Solmi, Sandro; Servidori, Marco
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