Thin Film Deposition in Capacitively Coupled Plasmas Fed with Bis(dimethylamino)-dimethylsilane and Oxygen: An FTIR study
Articolo
Data di Pubblicazione:
2009
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
D'Agostino, Riccardo; Fracassi, Francesco; DI MUNDO, Rosa; Palumbo, Fabio
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