TEM and DSL photoetching investigations of Si-implanted GaAs substrates

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1990
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
GaAs; implantation; DSL; TEM
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/116727
Titolo del libro:
Proceedings of the XIIth Int. Congress for Electron Microscopy