Kinetic modelling of atom production and thermalization in CCRF discharges in H2

Articolo
Data di Pubblicazione:
2013
Abstract:
[object Object]
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
Idrogeno; RF; materiali; modelli
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/268689
Pubblicato in:
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY (ONLINE)
Journal