TEM study of the origin of the surface microroughness in DSL photoetched Si-implanted GaAs wafers
Abstract
Data di Pubblicazione:
1990
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Keywords:
GaAs; Si-implanted; DSL; TEM microroughness
Elenco autori:
Frigeri, Cesare
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Titolo del libro:
Abstract book