Il silicio: Tecniche di integrazione e micromachining

La tecnologia dei microsistemi sta vivendo un proficuo momento a livello di ricerca e sviluppo ed il suo impatto in numerosi settori dell'ingegneria si preannuncia di rilevante interesse soprattutto per il fatto che essa è caratterizzata da facile accessibilità ma anche per la circostanza che essa, data la sua intrinseca flessibilità, è in grado di soddisfare esigenze di prodotti innovativi anche molto diversificati tra loro. Un microsistema può essere definito come una struttura derivante dall'integrazione spaziale di microdispositivi, microsensori, microattuatori e strutture di preprocessing includenti, ove necessario, le azioni tipiche del controllo avanzato lineare e/o non lineare. Tale integrazione può consentire il progetto e la produzione di sistemi intelligenti dotati di elevata e controllabile flessibilità. Attualmente la tecnologia dei microsistemi è principalmente legata allo sviluppo delle tecnologie microelettroniche anche se non ne utilizza le più recenti ed avanzate proiezioni in quanto, almeno per il momento, non sono necessarie.