Gas phase and surface processes in silicon tetrachloride glow discharge
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1985
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Cicala, Grazia
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Titolo del libro:
7th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-7) Proceedings IUPAC