Deposition mechanism in (GD)µc-Si:H,Cl film preparation:kinetic evidences

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1984
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/116043
Titolo del libro:
7th European Sectional Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, (ESCAMPIG-VII)