Sub-micron characterization tool for fast investigation of defects and morphology of semiconductor devices

Articolo
Data di Pubblicazione:
1997
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/235615
Pubblicato in:
PHYSICS OF LOW-DIMENSIONAL STRUCTURES
Journal