Plasma deposition of microcrystalline silicon: role of plasma-surface interaction on the microstructure.
Capitolo di libro
Data di Pubblicazione:
2001
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Elenco autori:
Cicala, Grazia
Link alla scheda completa:
Titolo del libro:
HANDBOOK OF SURFACES AND INTERFACES OF MATERIALS