Continuous and modulated deposition of fluorocarbon films by means of C-C4F8 plasmas
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2003
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Cicala, Grazia
Link alla scheda completa:
Titolo del libro:
16th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-16) Proceedings IUPAC