Dopant profiling on ultrashallow junctions in Si with ADF-STEM

Contributo in Atti di convegno

Data di Pubblicazione:

2007

Tipologia CRIS:

04.01 Contributo in Atti di convegno

Elenco autori:

Morandi, Vittorio; Merli, PIER GIORGIO; Parisini, Andrea

Autori di Ateneo:

MORANDI VITTORIO

PARISINI ANDREA

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/144622