Method and apparatus for producing thin films on a substrate via pulsed electron deposition process
Brevetto
Data di Pubblicazione:
2010
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Elenco autori:
Pattini, Francesco; Mazzer, Massimo; Gilioli, Edmondo; Ferrari, Claudio; Bissoli, Francesco; Rampino, Stefano
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