Plasma Modulation: a chance to improve the amorphous silicon deposition process

Abstract
Data di Pubblicazione:
1993
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142414
Titolo del libro:
Atti del XXII Congresso Nazionale di Chimica Inorganica