Fabrication process of a trench gate power MOS transistor with scaled channel

Brevetto
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
trench gate; transistor; power MOS
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142325