Process for fabricating a semiconductor device having a suspended microsystem and resultant device
Brevetto
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
Silicon micromachining; porous oxidised silicon; microactuated structures
Elenco autori:
D'Arrigo, GIUSEPPE ALESSIO MARIA; Spinella, ROSARIO CORRADO
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