Processo di ossidazione di semiconduttori in carburo di silicio

Patent
Publication Date:
2006
Iris type:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
SiC; Ossidazione termica; Dispositivi di potenza
List of contributors:
Authors of the University:
Handle:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142267