Processo di ossidazione di semiconduttori in carburo di silicio

Brevetto
Data di Pubblicazione:
2006
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
SiC; Ossidazione termica; Dispositivi di potenza
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/142267