Metodo e apparecchiatura di realizzazione di film sottili su un substrato tramite processo di deposizione a elettroni pulsati
Brevetto
Data di Pubblicazione:
2008
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
Deposizione di film sottili mediante elettroni pulsati
Elenco autori:
Pattini, Francesco; Mazzer, Massimo; Gilioli, Edmondo; Ferrari, Claudio; Bissoli, Francesco; Rampino, Stefano
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