MOCVD of Al2O3 films using new dialkylaluminum acetylacetonate precursors: growth kinetics and process yields
Articolo
Data di Pubblicazione:
2001
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Carta, Giovanni; Battiston, Giovanni; Gerbasi, Rosalba; Porchia, Marina; Rossetto, GILBERTO LUCIO
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